Secagem de wafer de alta pureza e limpeza de peças

Resumo

Para secagem de wafer de alta pureza e limpeza de peças, o aquecedor N2 de aço inoxidável é adequado para nitrogênio, CDA (Ar Seco Limpo) ou outros gases inertes de alta pureza.Construído com uma caixa de aço inoxidável 316L polida por eletrofixaçãoA utilização de um sistema de aquecimento por inalação de água, que permite a utilização de fluidos de processamento, permite a utilização de um sistema de aquecimento por inalação de água.Também está disponível em uma variedade de modelos que vão de 375 watts a 31000 watts.

Segurança incorporada

Há uma série de características de segurança incorporadas no aquecedor de N2 inoxidável. Por exemplo, o aquecedor possui termocópias de alto limite e processo para regular e manter a temperatura.Além disso,, há também um sensor de corte térmico para evitar o sobreaquecimento, e um fio de terra elétrico.Existe uma opção adicional para o aquecedor ter um controlador de temperatura baseado em microprocessador num chassi de comutação externa com classificação NEMA..

Destaques

O aquecedor de N2 inoxidável vem em vários tamanhos, variando de 375 a 3.000 watts (dependendo da tensão do cliente) e de 120 VAC a 240 VAC, de 1 fase (dependendo da potência).Várias unidades podem também ser utilizadas em série para potências e capacidades de fluxo mais elevadasA temperatura ambiente é de 200oC (392oF), com uma pressão de 60 PSIG a 200oC.